[发明专利]膜层、膜层的沉积方法和具有该膜层的薄膜光伏器件

摘要

本发明公开了一种膜层、膜层的沉积方法和具有该膜层的薄膜光伏器件，所述膜层为透明导电前电极，分多个化学气相沉积步骤沉积。本发明的膜层沉积方法能够使所沉积膜层同时具有所需的多个特性，使透明导电前电极的综合性能得以优化。本发明的薄膜光伏器件能够同时较好地满足绒性、透明度和导电率等特性的需要，进而提高了薄膜光伏器件的整体性能。

主权项

1、一种膜层，所述膜层位于玻璃基板表面，其特征在于：所述膜层为包括至少两层透明导电氧化物层的叠层结构，所述叠层结构中的与所述基板相接的透明导电氧化物层的表面为高绒性，其余各所述透明导电氧化物层的表面为高绒性而且分别具有高透明度和/或高导电率。