[发明专利]与CMOS兼容的单层多晶硅非易失性存储器无效

专利信息
申请号: 200810127017.8 申请日: 2008-06-18
公开(公告)号: CN101329913A 公开(公告)日: 2008-12-24
发明(设计)人: 周显峰;李迪 申请(专利权)人: 隆智半导体公司
主分类号: G11C16/04 分类号: G11C16/04;H01L27/115;H01L23/522;G11C16/12;G11C16/26;G11C16/10;G11C16/14
代理公司: 北京嘉和天工知识产权代理事务所 代理人: 严慎
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 发明涉及与CMOS兼容的单层多晶硅非易失性存储器。具体地,本发明教导一种单层多晶硅非易失性存储器单元,该单层多晶硅非易失性存储器单元与CMOS工艺兼容,使用较低电压进行工作,并且在编程、读取或擦除操作中更可靠。根据本发明的该单层多晶硅非易失性存储器单元包括具有编程端子的编程晶体管;具有感测端子的感测晶体管;以及具有擦除端子的擦除晶体管,其中,所述感测晶体管与所述编程晶体管和所述擦除晶体管共享浮栅。通过采用本发明,与常规双层多晶硅浮栅的嵌入式闪存存储器相比,在特征丰富的半导体产品中提供了显著的成本优势。
搜索关键词: cmos 兼容 单层 多晶 非易失性存储器
【主权项】:
1.一种单层多晶硅非易失性存储器单元,包括:具有编程端子的编程晶体管;具有感测端子的感测晶体管;以及具有擦除端子的擦除晶体管,其中,所述感测晶体管与所述编程晶体管和所述擦除晶体管共享浮栅。
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