[发明专利]用于将焊料凸块放置在模板上的装置和方法有效
申请号: | 200810128086.0 | 申请日: | 2008-07-29 |
公开(公告)号: | CN101359609A | 公开(公告)日: | 2009-02-04 |
发明(设计)人: | T·J·钱纳;P·A·格鲁伯;D·G·曼泽尔 | 申请(专利权)人: | 国际商业机器公司 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60;B23K3/06;B23K101/40 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 | 代理人: | 吴立明 |
地址: | 美国纽*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 一种用于将焊料凸块放置在模板上的装置包括:焊料填充头,配置用于将熔化的焊料滴涂到模板上,焊料填充头还配置用于在模板上相对移动;以及控制机构,配置用于控制焊料填充头相对于模板的位置。控制机构包括:控制输入信号,包含关于焊料填充头的理想位置的数据;焊料填充头上定位的多个传感器,传感器配置用于提供关于焊料填充头和模板之间的间隙的数据;位置控制器,配置用于接收间隙数据以及比较间隙数据与控制输入信号,其中如果间隙数据和控制输入信号不相等则所述位置控制器提供不等信号;放大器,配置用于接收不等信号并将其放大;以及致动器,配置用于接收放大的不等信号以及响应于接收的不等信号控制焊料填充头的移动。控制机构可以是伺服控制机构。传感器可以是间隙传感器。 | ||
搜索关键词: | 用于 焊料 放置 模板 装置 方法 | ||
【主权项】:
1.一种用于将焊料凸块放置在模板上的装置,该装置包括:焊料填充头,配置用于将熔化的焊料滴涂到模板上,焊料填充头还配置用于在所述模板上相对移动;以及控制机构,配置用于控制焊料填充头相对于模板的位置,该控制机构包括:输入端,用于接收控制输入信号,其包含关于焊料填充头的理想位置的数据;多个传感器,配置用于提供位置反馈;位置控制器,配置用于接收间隙数据以及比较间隙数据与控制输入信号,其中如果间隙数据和控制输入信号不相等,则所述位置控制器提供不等信号;放大器,配置用于接收不等信号并放大该信号;以及至少一个致动器,配置用于接收放大的不等信号以及响应于接收的不等信号控制焊料填充头的移动。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造