[发明专利]表面反射编码器标尺和使用该标尺的表面反射编码器有效
| 申请号： | 200810128533.2 | 申请日： | 2008-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN101329186A | 公开（公告）日： | 2008-12-24 |
| 发明（设计）人： | 前田不二雄 | 申请（专利权）人： | 三丰株式会社 |
| 主分类号： | G01D5/38 | 分类号： | G01D5/38;G02B5/18 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 彭久云 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明公开了一种表面反射编码器标尺和使用该标尺的表面反射编码器。该表面反射编码器标尺用于表面反射编码器，用于检测进行相对移动的构件的相对位移量。表面反射编码器标尺包括构件的基板或者设置在构件上的基板，以及设置在基板上的反射相栅，反射相栅的表面上具有用于改变反射衍射光的相位的凹凸。相栅的凹凸由金属硅化物和铬的沉积膜形成。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 反射 编码器 标尺 使用 | ||
【主权项】：
1、一种表面反射编码器标尺，用于表面反射编码器，所述表面反射编码器用于检测进行相对移动的构件的相对位移量，所述表面反射编码器标尺包括：所述构件的基板或者设置在所述构件上的基板；以及设置在所述基板上的反射相栅，该反射相栅的表面上具有用于改变反射衍射光的相位的凹凸，其中所述相栅的凹凸由金属硅化物和铬的沉积膜形成。
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