[发明专利]微机械装置及在其上调节确定温度或确定温度过程的方法有效
| 申请号： | 200810128792.5 | 申请日： | 2008-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN101301992A | 公开（公告）日： | 2008-11-12 |
| 发明（设计）人： | 约尔格·赫布;托马斯·克洛泽;蒂洛·桑德纳;安德列亚斯·贝格曼;克里斯蒂安·格维希;托马斯·克尼林 | 申请（专利权）人： | 弗劳恩霍夫应用研究促进协会 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00;G02B26/10 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 王波波 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 一种微机械装置包括微机械功能结构和与微机械功能结构关联的电磁辐射加热装置，形成该电磁辐射加热装置以在微机械功能结构中产生空间上和时间上的确定温度或空间上和时间上的确定温度过程。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 装置 调节 确定 温度 过程 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微机械装置，包括：微机械功能结构(3)；以及与所述微机械结构相关联的电磁辐射加热装置(5)，其形成为在微机械功能结构(3)上产生空间上和时间上确定的温度或空间上和时间上确定的温度过程。
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