[发明专利]用于平面显示器的化学气相沉积装置

摘要

本发明为一种用于平面显示器的化学气相沉积装置，包括：对基板实施沉积加工的一反应室，供加工气体注入反应室的一气体进管，以及连接至所述的气体进管且用在导引加工气体流至所述的气体进管的一气体供应管；在所述的化学气相沉积装置中，其中一寄生电浆产生预防部是位于所述的气体进管中并通过于沉积加工期间增加所述的气体供应管的压力来预防寄生电浆产生在所述的气体供应管中。

主权项

1.一种用于平面显示器的化学气相沉积装置，其特征在于：包含：一反应室，其中是对一基板实施沉积加工；一气体进管，供加工气体通过并注入所述反应室；以及一气体供应管，是连接在所述的气体进管，并导引所述的加工气体流向所述的气体进管；其中，所述的气体进管中是设有一寄生电浆产生预防部，其是在沉积加工期间，通过增加所述的气体供应管的压力来防止所述的气体供应管中产生寄生电浆。