[发明专利]用于在衬底上固化沉积层的系统和方法无效
| 申请号： | 200810129546.1 | 申请日： | 2008-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN101337219A | 公开（公告）日： | 2009-01-07 |
| 发明（设计）人： | 埃德温·希拉哈拉;大卫·L·李 | 申请（专利权）人： | 韦尔豪泽公司 |
| 主分类号： | B05D3/06 | 分类号： | B05D3/06;B05D7/24 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 杨青;樊卫民 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本申请提供了固化系统，该系统包括用于支撑至少一个层沉积其上的衬底的平面支撑面，至少一个用于固化所述至少一个沉积层的固化设备和用于控制整个固化过程的控制系统。所述固化设备包括至少一个激光器，透镜模组和任选的调制器。固化过程中，从激光器发射出来的光束可以通过以下方法指向沉积层：1)控制X－Y光束偏转模组的位置，将聚焦激光束对准沉积层的预期照射区域上；2)通过X－Y工作台控制激光器的位置，或3)通过X－Y工作台控制衬底的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 衬底 固化 沉积 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.固化系统，包括：用于支撑有材料沉积其上的衬底的具有平面表面的支撑物；含有能向材料沉积层的至少一部分上发射光束的激光器的固化设备；和与所述固化设备电通信连接的控制系统。
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