[发明专利]半导体结构及其制造方法有效
申请号: | 200810129973.X | 申请日: | 2008-07-30 |
公开(公告)号: | CN101640197A | 公开(公告)日: | 2010-02-03 |
发明(设计)人: | 涂高维;董正晖 | 申请(专利权)人: | 尼克森微电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/02 | 分类号: | H01L27/02;H01L27/088;H01L23/522;H01L21/8234;H01L21/768 |
代理公司: | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 寿 宁;张华辉 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明是有关一种半导体结构及其制造方法,本发明的半导体制造方法利用形成氧化物层的同时,部分氧化物层区隔出空间或提供高度差,以供作为传导用的线路(Bus)形成在其上。如此,传导线路可不需额外的光掩膜来定义,而可在随后的制造中形成导体材料于该氧化物层区之上。因此,本发明的半导体的制造可减少所需的光掩膜数以降低成本。 | ||
搜索关键词: | 半导体 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1、一种半导体结构,其特征在于其包含:一操作区,该操作区内有多个操作单元,该些操作单元接收一控制信号,并根据该控制信号操作;以及一传导区,电性连接至该些操作单元,以将该控制信号传至该些操作单元;其中,该传导区具有一辅助部、一传导部及一接触部,该辅助部由非导体材料所构成,并区隔出多个空间,该传导部由导体材料所构成,形成于该些空间之上并电性连接该些操作单元,该传导区被移除部分传导区以形成至少一接触窗并裸露出部分该辅助部,该接触部形成于该至少一接触窗之上以接收该控制信号并与该传导部电性连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
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H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
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H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的