[发明专利]纹理测量装置和方法有效
| 申请号： | 200810130582.X | 申请日： | 2008-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN101344374A | 公开（公告）日： | 2009-01-14 |
| 发明（设计）人： | 姜圣哲;崔赫烈 | 申请（专利权）人： | 韩国科学技术研究院 |
| 主分类号： | G01B7/34 | 分类号： | G01B7/34 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人： | 谢顺星 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 一种测量物体表面信息的纹理测量装置，包括：探针，在物体上移动时与物体保持接触；第一传感器单元，位于该探针上，用来检测沿垂直于探针纵向的方向作用于该探针上的力；第二传感器单元，位于该探针后部，用来检测沿探针纵向作用于该探针上的力。该装置还包括第三传感器单元，位于该第一传感器单元和该第二传感器单元之间，用来检测作用于该探针上的力的变化。 | ||
| 搜索关键词： | 纹理 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
1、一种测量物体表面信息的纹理测量装置，所述装置包括：探针，在物体表面移动同时与所述物体保持接触；第一传感器单元，位于所述探针上，用来检测沿垂直于探针纵向的方向作用于所述探针上的力；第二传感器单元，位于所述探针后部，用来检测沿探针纵向作用于所述探针上的力；第三传感器单元，位于所述第一传感器单元和所述第二传感器单元之间，用来检测作用于所述探针上的力的变化。
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