[发明专利]振荡器件、光偏转器以及使用光偏转器的成像装置有效
| 申请号： | 200810131184.X | 申请日： | 2008-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN101359092A | 公开（公告）日： | 2009-02-04 |
| 发明（设计）人： | 虎岛和敏;加藤贵久 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G02B26/10;G03G15/00;B41J2/47 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 柳爱国 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明公开了一种在驱动期间维持可动部分平整度的振荡器件。该振荡器件具有支撑部分、可动部分、以允许可动部分绕着扭转轴线扭转地振荡的方式将可动部分连接至支撑部分的扭簧、以及构造成使可动部分振荡的驱动单元。可动部分由单晶硅制成。可动部分的主面位于(110)晶面中，并且可动部分的平行于主面并且垂直于扭转轴线的晶体取向是[111]取向；本发明还公开了一种光偏转器以及使用光偏转器的成像装置。 | ||
| 搜索关键词： | 振荡 器件 偏转 以及 使用 成像 装置 | ||
【主权项】：
1.一种振荡器件，包括：支撑部分；可动部分；扭簧，其以允许所述可动部分绕着扭转轴线扭转地振荡的方式将所述可动部分连接至所述支撑部分；以及驱动单元，其构造成使所述可动部分振荡，其中所述可动部分由单晶硅制成；其中所述可动部分的主面位于(110)晶面中；并且其中平行于所述可动部分的主面并且垂直于所述扭转轴线的晶体取向是[111]取向。
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