[发明专利]用于脉冲涡流检查的自动提离补偿

摘要

本发明提供用于脉冲涡流检查的自动提离补偿。探头(1)和被测试结构(2)表面之间的提离间隔的变化常常掩蔽结构中缺陷的检测。描述了用于自动分类和补偿提离的变化的方法和设备。已知提离处的参考信号(23)可以用对应的计算的比率参数加权，并从测试信号(32)减去，以补偿提离。优选获得多个参考信号，并且优选确定每个参考信号的最大幅度梯度(24)。还获得后续的测试信号的最大幅度梯度(33)，识别具有最接近测试信号的最大幅度梯度的对应参考信号，并在相关补偿程序中选择该对应的参考信号。已发现这种方法将信号恢复为使得提离被消除，并且缺陷容易被识别。

主权项

1. 一种用于补偿涡流探头(1)和正被测试的导电样品(2)表面之间的间隔的影响的方法，该方法包括：通过将涡流探头(1)定位(21)在基本上没有缺陷的区域和距离样品(2)表面已知的参考间隔(22)处，激励(23)探头以在样品中产生涡流，并且感测以该已知的参考间隔在样品中产生的涡流产生的参考信号，以及确定(24)感测的时变信号的梯度值，获得至少一组参考数据；通过将涡流探头定位(31)在距离样品表面未知的参考间隔处，激励探头以产生涡流，并且确定(33)随后的测试信号的对应梯度值，执行后续的测试测量，以及通过确定至少一个参考信号和测试测量之间的差异，补偿(34)测试测量中涡流探头和样品表面之间的间隔的影响。