[发明专利]氦质谱检漏仪接收器无效
申请号: | 200810132744.3 | 申请日: | 2008-07-14 |
公开(公告)号: | CN101303266A | 公开(公告)日: | 2008-11-12 |
发明(设计)人: | 黄庆文 | 申请(专利权)人: | 北京中科科仪技术发展有限责任公司 |
主分类号: | G01M3/02 | 分类号: | G01M3/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 100190北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种氦质谱检漏仪的接收器,检漏仪接收器包括抑制电极1及引线6、接收极3,其中抑制电极1及引线6与接收极3之间由屏蔽极2隔离。其中接收极3用产生二次电子系数更高的金属材料,如铝或铍青铜。 | ||
搜索关键词: | 氦质谱 检漏 接收器 | ||
【主权项】:
1.一种氦质谱检漏仪的接收器,检漏仪接收器包括抑制电极1及引线6、接收极3,其中抑制电极1及引线6与接收极3之间由屏蔽极2隔离。
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