[发明专利]表面检测装置及方法无效
| 申请号： | 200810133087.4 | 申请日： | 2008-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN101625328A | 公开（公告）日： | 2010-01-13 |
| 发明（设计）人： | 何国诚;张仁明;陈诗涌;陈正锴;赖夏枝;许贸雄;林瑞堉;沈家麟 | 申请（专利权）人： | 台达电子工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N1/28;G01N29/04 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙 洪;霍育栋 |
| 地址： | 台湾省桃园县龟*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种表面检测装置及方法，用以非破坏性地检测一受测表面，该装置包括一改质单元及一处理单元。该改质单元提供一表面改质剂至该受测表面上，以使该受测表面暂时形成一改质表面。该处理单元利用侦测该改质表面，获得第一表面特性资料，且根据该第一表面特性资料，决定该受测表面是否具有一异质瑕疵。本发明通过在受测表面上加表面改质剂后检测该改质表面判断受测表面是否具有异质瑕疵，该方法不受待测基材的受测表面所具有的不规则纹路而影响，且其检测准确快速，另外，对受测表面检测完毕后，还可进行复原，不破坏原受测表面。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
1、一种表面检测装置，用以非破坏性地检测一受测表面，其特征在于，包括：一改质单元，提供一表面改质剂至该受测表面上，以使该受测表面暂时形成一改质表面；及一处理单元，侦测该改质表面，获得第一表面特性资料，且根据该第一表面特性资料，决定该受测表面是否具有一异质瑕疵。
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