[发明专利]沃泊指数传感器系统

摘要

本发明提供一种沃泊指数传感器系统及用于测量燃料沃泊指数的传感器(10)。这种传感器(10)包括衬底(12)和隔膜层(16)。隔膜层(16)包括具有至少一个加热元件的第一层(18)，加热元件配置成感测燃料中的能含量，其中加热元件包括设置在衬底(12)上的掺杂的多晶碳化硅。隔膜层(16)还包括第二层(22)，其包括不掺杂的多晶碳化硅层，其配置成防止第一层(18)的氧化。传感器(10)还包括感测层(22)，其具有悬置于支撑结构中的催化剂。传感器(10)还包括形成于隔膜层(16)下面的空腔，并配置成提供加热元件的隔热。

主权项

1.一种用于测量燃料沃泊指数的传感器(10)，包括：衬底(12)；隔膜层(16)，其包括：第一层(18)，其包括至少一个配置成感测燃料中的能含量的加热元件，所述加热元件包括设置在所述衬底上的掺杂的多晶碳化硅；以及第二层(20)，其包括不掺杂的多晶碳化硅层，所述不掺杂的多晶碳化硅层配置成防止所述第一层(18)的氧化；感测层(22)，其包括催化剂，并设置在所述隔膜层(16)上；以及空腔，其形成于所述隔膜层(16)的下面，以提供所述加热元件的隔热。