[发明专利]原子力显微镜测量固体薄膜厚度的方法

摘要

原子力显微镜测量固体薄膜厚度的方法，它涉及一种测量固体薄膜厚度的方法。本发明解决了现有的光学方法测膜厚存在测量范围有限、薄膜种类受限以及非光学方法存在测量误差较大的问题。方法一：将试样剪成两部分得到待测薄膜的垂直断面；将待测试样插入去离子水中，待待测薄膜漂浮于水面后，再用备用基底将其捞起；待其干燥后用原子力显微镜即可测出待测薄膜的厚度。方法二：将试样放入去离子水中；对所述试样进行超声处理，待待测薄膜插入液面以下部分变为碎屑从基底上脱落，露出基底后停止超声，取出待其干燥后用原子力显微镜直接扫描待测薄膜的断面区域即可测出待测薄膜厚度。本发明方法具有测量结果准确、操作简单、量程大、适用范围广等优点。

主权项

1、一种原子力显微镜测量固体薄膜厚度的方法，其特征在于它是按照以下步骤实现的：步骤一、准备试样和备用基底(2)：所述试样由薄膜(3)和基底(1)构成，所述薄膜(3)附着在基底(1)的表面上；步骤二、将所述试样迅速剪成两部分，得到薄膜(3)的真实垂直断面，将其中的一部分试样作为待测试样；步骤三、将待测试样以一定角度插入去离子水中；步骤四、待待测薄膜(3-1)漂浮于水面后；步骤五、用备用基底(2)将待测薄膜(3-1)缓慢捞起，使所述待测薄膜(3-1)平整地贴附在备用基底(2)的上表面(2-1)上，得到换基底后的待测试样；步骤六、待换基底后的待测试样干燥后，用原子力显微镜扫描待测薄膜(3-1)的真实垂直断面邻近区域，即可测出待测薄膜(3-1)的厚度。