[发明专利]一种球形零件批量等离子体基离子注入方法及其装置有效

专利信息
申请号: 200810137130.4 申请日: 2008-09-17
公开(公告)号: CN101353777A 公开(公告)日: 2009-01-28
发明(设计)人: 马欣新;唐光泽 申请(专利权)人: 哈尔滨工业大学
主分类号: C23C14/32 分类号: C23C14/32
代理公司: 哈尔滨市松花江专利商标事务所 代理人: 岳泉清
地址: 150001黑龙江*** 国省代码: 黑龙江;23
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摘要: 一种球形零件批量等离子体基离子注入方法及其装置,它涉及一种球形零件等离子体基离子注入方法及其装置。针对转动工件的等离子体基离子注入装置和方法对球形零件进行等离子体基离子注入不均匀,无法实现同一批球形零件处理效果一致问题。方法是:将球形零件置于倾斜圆盘的环槽内,倾斜圆盘的转动通过驱动电机和传动装置控制,先停止驱动电机转动,开启高压脉冲电源,经高压脉冲电源延时后,对球形零件等离子体基离子注入,驱动电机和高压脉冲电源的启停保持同步切换;装置是:同步切换控制器通过一、二号电源给驱动电机和高压脉冲电源供电,驱动电机输出轴上固装有主动齿轮,主、从动齿轮啮合。本发明的装置和方法能对球形零件表面离子均匀注入。
搜索关键词: 一种 球形 零件 批量 等离子体 离子 注入 方法 及其 装置
【主权项】:
1、一种球形零件批量等离子体基离子注入方法,其特征在于:所述离子注入方法是这样完成的:将多个直径D相同的球形零件(1)放置在倾斜圆盘(2)的环槽(3)内,所述倾斜圆盘(2)的中心轴线与竖直方向之间的夹角α为5°-30°,倾斜圆盘(2)的转动通过驱动电机(11)和传动装置控制,所述驱动电机(11)和高压脉冲电源(5)的启停通过同步切换控制器(6)控制,先对球形零件(1)施加高压脉冲电压,对球形零件(1)的表面进行等离子体基离子注入,注入时间为5-10min之后,停止施加高压脉冲电压,同时启动驱动电机(11),倾斜圆盘(2)的转动使部分球形零件(1)越过倾斜圆盘(2)的环槽(3)内的最高点后靠自重滚动至倾斜圆盘(2)的环槽(3)内的最低点,球形零件(1)的滚动过程随机进行,倾斜圆盘(2)的转速为1-10rpm/min、单次转动时间为3-30s,之后,停止驱动电机(11)转动,同时开启高压脉冲电源(5),经高压脉冲电源(5)延时5-10s后,开始对球形零件(1)表面进行等离子体基离子注入,单次注入时间为5-10min,驱动电机(11)和高压脉冲电源(5)的启停保持同步切换,直至所有球形零件(1)表面离子注入均匀为止。
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