[发明专利]空心阴极耦合正偏压管筒内表面注入离子的装置及方法有效
| 申请号： | 200810137235.X | 申请日： | 2008-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN101365289A | 公开（公告）日： | 2009-02-11 |
| 发明（设计）人： | 田修波;巩春志;杨士勤 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H01J37/32 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 | 代理人： | 岳泉清 |
| 地址： | 150001黑龙江*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 空心阴极耦合正偏压管筒内表面注入离子的装置及方法，它涉及一种管筒内表面注入离子的方法及装置。本发明解决了在较细的管筒内产生等离子体困难的问题。装置是：空心阴极管(9)的一端设置在工件管筒(10)内，高压脉冲电源(7)的正极通过低通滤波器(6)连到空心阴极管(9)上，射频电源系统(3)通过匹配保护电路(4)连到空心阴极管(9)上；方法是：气体在射频脉冲的作用下在空心阴极管内产生等离子体，等离子体受到电场的作用，飞向工件管筒(10)内壁形成离子注入。本发明通过在工件管筒内放入空心阴极管，减小了被处理工件管筒的直径，并能容易建立等离子体，通过使空心阴极管处于脉冲正偏压，提高了工件管筒内表面离子注入效率。 | ||
| 搜索关键词： | 空心 阴极 耦合 偏压 管筒内 表面 注入 离子 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种空心阴极耦合正偏压管筒内表面注入离子的装置，它由气体源室(1)、真空室(11)、绝缘通气管(2)、射频电源系统(3)、匹配保护电路(4)、电缆(5)、高压电缆(12)、低通滤波器(6)、高压脉冲电源(7)、绝缘体(8)、空心阴极管(9)组成；其特征在于真空室(11)接地，被处理的工件管筒(10)设置在真空室(11)内的中心处，空心阴极管(9)的一端设置在工件管筒(10)内的中心轴线上，空心阴极管(9)的另一端穿过真空室(11)与绝缘通气管(2)的一端相连接，绝缘通气管(2)的另一端与气体源室(1)的输出端相连接，绝缘体(8)套装在空心阴极管(9)上并固装在真空室(11)的输入端面的中心孔内，高压脉冲电源(7)的正极通过低通滤波器(6)和高压电缆(12)与空心阴极管(9)的外壁固接，高压脉冲电源(7)的负极接在真空室(11)的壁上，工件管筒(10)的侧壁接地，射频电源系统(3)的输出端通过匹配保护电路(4)和电缆(5)与空心阴极管(9)的外壁固接，抽气系统(13)设在真空室(11)的输出端处，齿轮(15)固装在支架(14)上，齿条(16)与齿轮(15)相啮合，传动杆(17)的一端与齿条(16)固接，传动杆(17)的另一端穿过真空室(11)的输出端与底座(18)固接，管筒(10)安装在底座(18)上，在底座(18)与真空室(11)的内壁之间设有滚动轴承(19)，在传动杆(17)与真空室(11)的输出端之间设有动密封圈(20)。
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