[发明专利]集成光子芯片与阵列光纤自动对准装置

摘要

本发明公开了一种集成光子芯片与阵列光纤自动对准装置，在底板(100)上设有中间平台(200)，在所述的底板(100)上设有以所述的中间平台(200)左右对称分布的两台六维高精度运动平台。本发明设有六维高精度的运动平台和其紧凑、合理的结构布局，可有效应用于要求高精度对准的各种平面波导的对准和封装，并且可方便扩展IR－CCD、机器视觉、点胶装置、UV固化装置等外设设备，且操作简单，运动范围大，精度高。

主权项

1、一种集成光子芯片与阵列光纤自动对准装置，其特征是：在底板(100)上设有中间平台(200)，在所述的底板(100)上设有以所述的中间平台(200)左右对称分布的两台六维高精度运动平台，在所述的中间平台(200)上方布置有高精密通用的集成光子芯片夹具(503)和真空吸附口(5031)，每台六维高精度运动平台的结构是在所述的底板(100)上设有X轴轴向运动平台，所述的X轴轴向运动平台的动平台与Z轴轴向运动平台的固定台连接，在所述的Z轴轴向运动平台的动平台上设有连接体，所述的连接体与Y轴轴向运动平台的固定台连接，所述的Y轴轴向运动平台的驱动电机尾部向下，所述的Y轴轴向运动平台的动平台与绕Y轴旋转Ty运动平台的固定台连接，在所述的绕Y轴旋转Ty运动平台的动平台上设有转接板，所述的转接板与绕X轴旋转Tx运动平台的固定台连接，所述的绕X轴旋转Tx运动平台的动平台与绕Z轴旋转Tz运动平台的固定台连接，在所述的绕Z轴旋转Tz运动平台的动平台上设有连接板和夹具，在所述的夹具上设有与所述的集成光子芯片夹具(503)对应的高精密通用的波导夹具。