[发明专利]以钠钙玻璃为衬底的光掩模及其制造方法

摘要

本发明公开了一种以钠钙玻璃为衬底的光掩模及制造方法，该光掩模包括钠钙玻璃基片、铬氮化物遮光膜层、铬氮氧化物减反射膜层，还包括铬氧化物或硅氧化物阻挡层，所述阻挡层、遮光膜层、减反射膜层用真空磁控溅射方法依次镀在所述钠钙玻璃基片上。本发明显著减少了制版过程中，因钠离子导致的刻蚀图形线条边缘产生的“凹陷”缺陷，从而大幅度延长了铬掩模板在加工成光刻掩模版前的存放期限，有效改善了铬掩模板的品质。

主权项

1、一种以钠钙玻璃为衬底的光掩模，包括钠钙玻璃基片、铬氮化物遮光膜层、铬氮氧化物减反射膜层，其特征在于还包括铬氧化物或硅氧化物阻挡层，所述阻挡层、遮光膜层、减反射膜层依次镀在所述钠钙玻璃基片上。