[发明专利]具有侧边口袋注入的电荷捕捉装置

摘要

本发明公开了一种具有侧边口袋注入的电荷捕捉装置，提供了一种电荷捕捉存储单元，其具有沿着信道侧边的口袋注入，该侧边口袋注入具有和信道相同的导电型态，且该注入的掺杂物浓度较信道中央区域来的高。此种结构可有效防止电荷捕捉结构因鸟嘴或其它边缘异常而造成信道侧边非均匀电荷捕捉现象，且前述口袋注入可利用兼容于标准浅沟道隔离工艺的方法形成。

主权项

1.一种存储单元，其特征在于，包括：一第一源极/漏极端与一第二源极/漏极端，该第一与第二源极/漏极端具有一第一导电型态；一介于该第一与第二源极/漏极端的信道，该信道具有一第二导电型态，且该信道具有一由该第一源极/漏极端延伸至该第二源极/漏极端的信道长度，以及一与该信道长度垂直且由该信道的一第一侧延伸至一第二侧的宽度；该信道包括一沿着至少该第一侧与第二侧之一的掺杂物侧边口袋，该掺杂物具有该第二导电型态，该侧边口袋处的该掺杂物浓度高于该信道的一中央区域的该掺杂物浓度；一覆盖于该信道上的电荷捕捉结构；以及一位于该电荷捕捉结构上的栅极。