[发明专利]超分辨复色差动共焦测量装置及方法

摘要

本发明公开了一种超分辨复色差动共焦测量方法，其包括：提供第一差动共焦测量装置，提供一平行平板修正色差超分辨测头，提供一计算机装置，以及，精确修正超分辨滤波器平板基底厚度，实现两光束聚焦平面位置调节，从而保证两焦平面的位置差恰好等于第一差动共焦测量装置的线性测量区一半与第二差动共焦测量装置线性测量区一半之和。本发明还提供了一种超分辨复色差动共焦测量装置，本发明的超分辨复色差动共焦测量方法及装置的有益效果在于，在保留已公开的复色超分辨差动共焦测量技术具有两个独立的双极性跟踪线性区间，轴向响应量程大，能抑制共模干扰的技术优点前提下，提高系统横向分辨力。

主权项

1.一种超分辨复色差动共焦测量方法包括：提供第一差动共焦测量装置，用于输出具有第一波长的第一测量相干光束，以及用于接收具有第一波长的第一反射光束，并根据所接收的具有第一波长的第一反射光束产生第一近离焦探测器输出和第一远离焦探测器输出；提供第二差动共焦测量装置，用于输出具有第二波长的第二测量相干光束，以及用于接收具有第二波长的第二反射光束，并根据所接收的具有第二波长的第二反射光束产生第二近离焦探测器输出和第二远离焦探测器输出；提供一平行平板修正色差超分辨测头，其包括二向分色镜，聚焦物镜和平行平板色差修正超分辨滤波器，令第一测量相干光束和第二测量相干光束汇合于二向分色镜，再通过聚焦物镜和超分辨滤波器后分别聚焦于不同的平面；提供一计算机装置，用于读取并记录第一近离焦探测器输出、第一远离焦探测器输出、第二近离焦探测器输出和第二远离焦探测器输出，并分别根据第一近离焦探测器输出与第一远离焦探测器输出之差生成具有一线性测量区的第一轴向测量响应曲线，以及根据第二远离焦探测器输出和第二近离焦探测器输出之差生成具有一线性测量区的第二轴向测量响应曲线；以及，精确修正超分辨滤波器平板基底厚度，实现两光束聚焦平面位置调节，从而保证两焦平面的位置差恰好等于第一差动共焦测量装置的线性测量区一半与第二差动共焦测量装置线性测量区一半之和。