[发明专利]具有多个光电探测器的扫描光谱仪

摘要

本发明涉及一种具有探测器阵列的扫描光学光谱仪，其中利用微机电(MEMS)可倾斜微镜扫描在诸如具有平板波导输入的阵列波导光栅(AWG)的色散元件的输入端的光的聚焦光斑的位置，以便在耦合到AWG的探测器阵列上扫描光的色散光谱。用处理器单元连接单个探测器记录的亚光谱以获得输入光的光谱。

主权项

1.一种用于测量具有频率范围△f的光的光谱的光谱仪，所述光谱仪包括：M个输入端口Pm，其用于接收所述光并将所述光中继到M个源点Sm，其中M≥1；并且m是满足条件1≤m≤M的整数；输入扫描装置，其被耦合到所述M个输入端口Pm，并且所述输入扫描装置用于将来自所述M个源点Sm中的任一个的光中继到中间点，其中在操作中，所述中间点的位置x被所述扫描装置在δx＝|x2-x1|的扫描范围内从值x1连续扫描到值x2；色散装置，其被耦合到所述输入扫描装置，所述色散装置用于根据所述光的所述中间点的所述位置x在空间上分开所述光的频率成分；N个探测器Dn，其被耦合到所述色散装置，所述N个探测器Dn用于根据所述光的光频率探测所述光，其中N≥2；n是满足条件2≤n≤N的整数；并且每个探测器Dn 被设置来接收中心频率fn(x)处的光频率成分，使得当x被在值x2和x1间扫描时，所述中心频率fn(x)被在δf＝|fn(x2)-fn(x1)|的范围内扫描；其中，对于所述光频率范围Δf内的任何中心频率f0，至少有一个n＝n0和至少一个x＝x0满足fn0(x0)＝f0。