[发明专利]非接触六自由度微位移测量装置无效
| 申请号： | 200810149831.X | 申请日： | 2008-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN101382416A | 公开（公告）日： | 2009-03-11 |
| 发明（设计）人： | 刘力双;吕勇;郎晓萍;吕乃光;孙鹏 | 申请（专利权）人： | 北京信息科技大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01B11/03 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 | 代理人： | 韩明星;张 军 |
| 地址： | 100192北*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种非接触六自由度微位移测量装置，该装置包括：可动部分，被测物体与所述可动部分固定在一起；固定不动部分；三个面阵CCD，其中，第一面阵CCD和第二面阵CCD与可动部分固定在一起，第三面阵CCD与固定不动部分固定在一起；三路激光输出结构，与固定不动部分固定在一起，并发射三束光束，分别被所述三个面阵CCD接收，其中，当被测物体发生任意自由度的运动时，引起相应面阵CCD上光点的位置发生变化，根据被测物体运动前后所述光点位置的变化来计算被测物体的六自由度位移。本发明的非接触六自由度微位移测量装置可用于高精度的物体六自由度微位移监测。 | ||
| 搜索关键词： | 接触 自由度 位移 测量 装置 | ||
【主权项】：
1、一种非接触六自由度微位移测量装置，包括:可动部分，被测物体与所述可动部分固定在一起；固定不动部分；三个面阵CCD，其中，第一面阵CCD和第二面阵CCD与可动部分固定在一起，第三面阵CCD与固定不动部分固定在一起；三路激光输出结构，与固定不动部分固定在一起，并发射三束光束，分别被所述三个面阵CCD接收，其中，当被测物体发生任意自由度的运动时，引起相应面阵CCD上光点的位置发生变化，根据被测物体运动前后所述光点位置的变化来计算被测物体的六自由度位移。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京信息科技大学，未经北京信息科技大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200810149831.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
