[发明专利]一种含铝类金刚石碳膜及其制备方法无效
| 申请号： | 200810150860.8 | 申请日： | 2008-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN101665904A | 公开（公告）日： | 2010-03-10 |
| 发明（设计）人： | 王立平;张广安;薛群基 | 申请（专利权）人： | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35 |
| 代理公司： | 兰州中科华西专利代理有限公司 | 代理人： | 方晓佳 |
| 地址： | 730000甘肃*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种含铝类金刚石碳膜及其制备方法。薄膜为类金刚石结构，薄膜中金属铝的质量分数为3％-20％，余量为碳；金属铝以原子态分散于非晶类金刚石碳膜中，铝与碳不成键，薄膜厚度介于500-5000纳米之间。本发明的含铝类金刚石碳膜具有很低的内应力、较高的硬度、良好膜/基结合力和良好的耐磨性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 含铝类 金刚石 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种含铝类金刚石碳膜，其特征在于薄膜为类金刚石结构，薄膜中金属铝的质量分数为3％-20％，余量为碳；金属铝以原子态分散于非晶类金刚石碳膜中，铝与碳不成键，薄膜厚度介于500-5000纳米之间。
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