[发明专利]基于平板波导移动的无热阵列波导光栅的制作方法有效
| 申请号： | 200810152770.2 | 申请日： | 2008-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN101419313A | 公开（公告）日： | 2009-04-29 |
| 发明（设计）人： | 周天宏;马卫东 | 申请（专利权）人： | 武汉光迅科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/34 | 分类号： | G02B6/34 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 | 代理人： | 江镇华 |
| 地址： | 430074湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开一种基于平板波导移动的无热阵列波导光栅的制作方法，是在普通硅基二氧化硅阵列波导光栅芯片上，沿输入平板波导上的切割线或输出平板波导上的切割线将阵列波导光栅芯片分割成第一部分和第二部分；将温度补偿杆横跨放置在阵列波导光栅芯片切割线处，并同阵列波导光栅芯片的第一部分和第二部分的表面固定，通过温度补偿杆的热胀冷缩带动第一部分和第二部分产生相对移动，从而补偿由温度引起的波长漂移，制作出无热阵列波导光栅。本发明没有基板。第一部分a和第二部分b是放在六维精密微调架上进行六个方向完全自由调整；降低了器件成本；最大限度地简化了工艺步骤，使得器件制作简单易行；最大限度地降低器件性能恶化；稳定性强。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 平板 波导 移动 阵列 光栅 制作方法 | ||
【主权项】：
1. 一种基于平板波导移动的无热阵列波导光栅的制作方法，其特征在于，是在普通硅基二氧化硅阵列波导光栅芯片上，沿输入平板波导(2)上的切割线(C)或输出平板波导(4)上的切割线(C)将阵列波导光栅芯片分割成第一部分(a)和第二部分(b)；将温度补偿杆(6)横跨放置在阵列波导光栅芯片切割线(C)处，并同阵列波导光栅芯片的第一部分(a)和第二部分(b)的表面固定，通过温度补偿杆(6)的热胀冷缩带动第一部分(a)和第二部分(b)产生相对移动，从而补偿由温度引起的波长漂移，制作出无热阵列波导光栅。
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