[发明专利]基于平板波导移动型无热阵列波导光栅的优化制作方法

摘要

一种基于平板波导移动型无热阵列波导光栅的优化制作方法，用输入波导、输出输入波导、平板波导和输出平板波导、阵列波导共同沉积在硅衬底上的AWG芯片上制作AAWG；将AWG芯片与输入光纤阵列和输出光纤阵列进行耦合、调试和固化，测试性能参数a1；将固化后的AWG芯片分割为AAWG的第一区域和第二区域，并测试分割造成的波导长度的损失L；将第二区域与第二基板粘接固定在一起，放置在固定夹具上；利用6维微调架夹具将AAWG的第一区域与第一基板固定，将补偿杆放置在第一区域和第一基板上，固化补偿杆；利用有第一区域和第一基板的6维微调架夹具，相对有第二区域与第二基板的固定夹具进行AAWG的第二次耦合调试，并测试性能参数a2，a3，a4；并将第一基板和第二基板固化。

主权项

1. 一种基于平板波导移动型无热阵列波导光栅的优化制作方法，其特征在于，包括如下制作步骤：(1)采用至少一个输入波导(1)、N个输出波导(5)、输入平板波导(2)和输出平板波导(4)、以及阵列波导(3)组成共同沉积在硅衬底上的AWG芯片(6)制作AAWG；将AWG芯片(6)与输入光纤阵列(12)和输出光纤阵列(13)进行耦合、调试和固化，测试性能参数a1，称为AAWG的第一次耦合调试固化；(2)将固化后的AWG芯片(6)分割为AAWG的第一区域(6a)和第二区域(6b)两部分，并测试分割造成的波导长度的损失L；(3)将AAWG的第二区域(6b)与第二基板(7b)粘接固定在一起，放置在固定夹具(15)上；(4)利用6维微调架夹具(14)将AAWG的第一区域(6a)与第一基板(7a)固定，将补偿杆(8)放置在第一区域(6a)和第一基板(7a)上，利用紫外胶或者热固化胶固化补偿杆，准备第二次耦合调试；(5)利用放置有固定的第一区域(6a)和第一基板(7a)的6维微调架夹具(14)，相对于放置有粘接固化在一起的第二区域(6b)与第二基板(7b)的固定夹具(15)进行AAWG的第二次耦合调试，并测试性能参数a2，a3，a4；(6)当性能参数满足要求，将第一基板(7a)和第二基板(7b)固化，为AAWG第二次耦合固化；(7)将制作的AAWG从夹具上取下，制作完成。