[发明专利]提拉法晶体生长的控制方法有效
| 申请号： | 200810155377.9 | 申请日： | 2008-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN101392404A | 公开（公告）日： | 2009-03-25 |
| 发明（设计）人： | 惠梦君 | 申请（专利权）人： | 惠梦君 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20 |
| 代理公司： | 无锡华源专利事务所 | 代理人： | 聂汉钦 |
| 地址： | 214174江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种提拉法晶体生长的控制方法，通过计算机直接采样得到晶体生长的重量信号，将该重量信号根据信号处理方法，换算得出独立于生长速率的晶体直径反馈信号；将晶体直径反馈信号与晶体直径设定值比较获得信号误差，然后通过该信号误差的PID运算得到控制籽晶的机械拉速计算值；将机械拉速计算值与机械拉速设计值比较获得新的信号误差，通过该新的信号误差的PID运算来控制温度(或功率)。拉速为主控制回路，温度为次生控制回路。通过拉速和温度两个回路的共同作用，实现晶体生长的等径控制。本发明响应速度快，等径控制效果好，晶体表面更光滑，晶体生长速度高，生产效率高。该方法的使用不受晶体材料的影响，可以应用于大多数提拉法晶体生长过程中。 | ||
| 搜索关键词： | 提拉法 晶体生长 控制 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种提拉法晶体生长的控制方法，其特征是：通过计算机直接采样得到晶体生长的重量信号，将该重量信号按照信号处理方法，换算得出独立于生长速率的晶体直径的反馈信号；将晶体直径反馈信号与晶体直径设定值比较，获得信号误差，然后通过该信号误差的PID运算，得到籽晶的机械拉速的计算值，由此来控制籽晶的机械提拉速度，通过拉速改变来控制晶体直径。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于惠梦君，未经惠梦君许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200810155377.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：蒸气设施的水处理方法
- 下一篇：镁基复合材料及其制备方法
