[发明专利]一种负热膨胀材料ZrW2O8薄膜的制备方法无效
| 申请号： | 200810156934.9 | 申请日： | 2008-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN101368259A | 公开（公告）日： | 2009-02-18 |
| 发明（设计）人： | 刘红飞;程晓农;张志萍;杨娟 | 申请（专利权）人： | 江苏大学 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/28;C23C14/58;C23C14/54 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 | 代理人： | 汪旭东 |
| 地址： | 212013*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种负热膨胀材料ZrW2O8薄膜的制备方法，属于无机功能薄膜材料制备技术领域，其特征在于：采用脉冲激光法制备负热膨胀ZrW2O8薄膜。本发明的优点在于利用脉冲激光沉积法制备ZrW2O8薄膜，可以使沉积薄膜和靶材的化学成分保持良好的一致性，能避免某种成分优先沉积的问题，同时逸出粒子具有较大的能量有利于薄膜生长，制备薄膜质量高，制备过程具有良好的可重复性，沉积速率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 热膨胀 材料 zrw sub 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种负热膨胀材料ZrW2O8薄膜的制备方法，其特征在于：采用脉冲激光法制备负热膨胀ZrW2O8薄膜。
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