[发明专利]图案形成装置

摘要

提供一种图案形成装置，其对滑架周边的空气进行排气，并且使该滑架周边简化。沿着Y轴导轨(18)设置，并且进行从液滴喷头喷出的液滴的检查的扫描检查相机装置(80)，其中，在收容与检查相机(CA)电连接的电缆(87)的电缆支架管部(81B)的两端部设有排气口(P1)。另外，在相机移动台(81A)的两端部设有排气口(P2)。而且，从排气口(P1)以及排气口(P2)吸引空气。因此，通过从吸出孔(85)和引导孔(82)吸引滑架周边的空气并排气，可以向滑架周边导入液滴喷出装置周边的空气。其结果是抑制液滴喷头的温度上升，使功能液的温度一定，由此使液滴喷头的喷出量均匀。

主权项

1. 一种图案形成装置，其包括：搬送台，其在主扫描方向往复移动而搬送载置的基板；一对导轨，其在所述搬送台的移动路径的上方，在与所述主扫描方向垂直的副扫描方向上延伸形成；滑架，其被支承于所述一对导轨，能够沿着该一对导轨在副扫描方向上往复移动；液滴喷头，其在所述滑架的单元板上并排设置有多个，向所述基板喷出功能液的液滴，在该基板上描画图案；检查相机，其对从所述液滴喷头喷出的液滴进行摄像；相机基座，其固定设置所述检查相机；线性电动机，其使所述相机基座在副扫描方向上往复移动；电动机收容盒，其沿着所述一对导轨设置，收容所述线性电动机，并形成有沿副扫描方向引导所述相机基座的引导孔；移动电缆，其与所述检查相机电连接；电缆收容盒，其沿着所述电动机收容盒设置，收容所述移动电缆，并形成有开口窗，使得所述移动电缆的前端追随于所述检查相机的副扫描方向的往复移动，一边使载置了所述基板的搬送台在主扫描方向移动，一边从所述多个喷头将液滴向所述基板喷出，在该基板上描画图案，同时使所述检查相机在副扫描方向移动，对从所述各液滴喷头喷出的液滴进行摄像而检查液滴，所述图案形成装置的特征在于，在所述电缆收容盒的两端部设置排气口，从所述电缆收容盒的开口窗对所述滑架的周边的空气进行吸引排气。