[发明专利]PVD纳米复合陶瓷涂层螺杆及其制造方法无效
| 申请号： | 200810162871.8 | 申请日： | 2008-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN101518935A | 公开（公告）日： | 2009-09-02 |
| 发明（设计）人： | 陆汉良 | 申请（专利权）人： | 舟山市汉邦机械科技有限公司 |
| 主分类号： | B29C45/60 | 分类号： | B29C45/60;B29C47/60;B32B9/00;B32B33/00;C23C30/00;C23C14/35;C23C14/54;C23C14/02 |
| 代理公司： | 舟山固浚专利事务所 | 代理人： | 范荣新 |
| 地址： | 316000浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供的PVD复合陶瓷涂层螺杆，螺杆基体[7]上附着依次由粘结层、主耐磨层和润滑层构成的涂层[6]。上述螺杆的制造方法：先在0.1Pa气压条件下沉积50～100纳米厚的过渡金属粘结层；然后在350～400℃、-50V～-200V偏压、0.2～1Pa气压条件下沉积2～5微米厚的复合陶瓷涂层为主耐磨层，最后在100～150℃、-50V～-150V偏压、0.1～0.5Pa气压条件下沉积1～3微米厚的过渡金属掺杂类金刚石碳膜层为润滑层。与现有技术相比，本发明螺杆硬度高(Hv硬度达40GPa以上)，耐磨性能好(摩擦系数约为0.1)，具备润滑性能。本发明方法无污染，涂层附着力强。 | ||
| 搜索关键词： | pvd 纳米 复合 陶瓷 涂层 螺杆 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、一种PVD复合陶瓷涂层螺杆，包括经过渗氮处理的螺杆基体，其特征是螺杆基体上由内至外依次附着有粘结层、主耐磨层和润滑层，其中，粘结层是厚度为50～100纳米的过渡金属Cr或者Ti或者Zr层，主耐磨层是厚度为2～5微米的Cr或者Ti或者Zr的氮化物与氮化碳构成的复合陶瓷涂层，表面润滑层是厚度为1～3微米Cr或者Ti或者Zr和C构成的过渡金属掺杂类金刚石碳膜层。
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