[发明专利]单晶硅太阳电池绒面的制备方法无效

专利信息
申请号: 200810163098.7 申请日: 2008-12-10
公开(公告)号: CN101431124A 公开(公告)日: 2009-05-13
发明(设计)人: 徐晓群;孙励斌;李华维;殷海亭;陈斌;甘旭;黄岳文;唐则祁;胡宏勋 申请(专利权)人: 宁波尤利卡太阳能科技发展有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;C23F1/24
代理公司: 宁波市鄞州甬致专利代理事务所 代理人: 代忠炯
地址: 315177浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开一种单晶硅太阳电池绒面的制备方法,其工艺为:将前道化学预清洗后用纯水漂洗干净的单晶硅片,放置在功率为1800~2400w,频率为25~40kHz的超声波清洗机的超声槽中,超声槽中配有重量百分比为1%~2%的NaOH和3%~6%异丙醇的混合水溶液,设定混合水溶液的温度为75~85℃,超声时间为30~35min,然后取出单晶硅片放置在体积百分比为10%的盐酸水溶液中浸泡4~6min,漂洗后,再用体积百分比为10%的氢氟酸水溶液浸泡4~6min,再用去离子水清洗,烘干。本发明制备的硅片绒面均匀,反射率低,且降低了碎片率,提高了生产效率和产能。
搜索关键词: 单晶硅 太阳电池 制备 方法
【主权项】:
1. 一种单晶硅太阳电池绒面的制备方法,首先对单晶硅片进行前道化学预清洗,然后对单晶硅片进行绒面腐蚀,其特征在于:所述的绒面腐蚀包括:将前道化学预清洗完成后用纯水漂洗干净的单晶硅片,放置在功率为1800~2400w,频率为25~40kHz的超声波清洗机的超声槽中,超声槽中配有重量百分比为1%~2%的NaOH和重量百分比为3%~6%的异丙醇的混合水溶液,设定混合水溶液的温度为75~85℃,超声时间为30~35min,然后取出单晶硅片放置在体积百分比为10%~20%的盐酸水溶液中浸泡4~6min,漂洗后,再用体积百分比为10%~20%的氢氟酸水溶液浸泡4~6min,然后用去离子水漂洗数次,烘干。
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