[发明专利]单晶硅太阳电池绒面的制备方法无效
申请号: | 200810163098.7 | 申请日: | 2008-12-10 |
公开(公告)号: | CN101431124A | 公开(公告)日: | 2009-05-13 |
发明(设计)人: | 徐晓群;孙励斌;李华维;殷海亭;陈斌;甘旭;黄岳文;唐则祁;胡宏勋 | 申请(专利权)人: | 宁波尤利卡太阳能科技发展有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;C23F1/24 |
代理公司: | 宁波市鄞州甬致专利代理事务所 | 代理人: | 代忠炯 |
地址: | 315177浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开一种单晶硅太阳电池绒面的制备方法,其工艺为:将前道化学预清洗后用纯水漂洗干净的单晶硅片,放置在功率为1800~2400w,频率为25~40kHz的超声波清洗机的超声槽中,超声槽中配有重量百分比为1%~2%的NaOH和3%~6%异丙醇的混合水溶液,设定混合水溶液的温度为75~85℃,超声时间为30~35min,然后取出单晶硅片放置在体积百分比为10%的盐酸水溶液中浸泡4~6min,漂洗后,再用体积百分比为10%的氢氟酸水溶液浸泡4~6min,再用去离子水清洗,烘干。本发明制备的硅片绒面均匀,反射率低,且降低了碎片率,提高了生产效率和产能。 | ||
搜索关键词: | 单晶硅 太阳电池 制备 方法 | ||
【主权项】:
1. 一种单晶硅太阳电池绒面的制备方法,首先对单晶硅片进行前道化学预清洗,然后对单晶硅片进行绒面腐蚀,其特征在于:所述的绒面腐蚀包括:将前道化学预清洗完成后用纯水漂洗干净的单晶硅片,放置在功率为1800~2400w,频率为25~40kHz的超声波清洗机的超声槽中,超声槽中配有重量百分比为1%~2%的NaOH和重量百分比为3%~6%的异丙醇的混合水溶液,设定混合水溶液的温度为75~85℃,超声时间为30~35min,然后取出单晶硅片放置在体积百分比为10%~20%的盐酸水溶液中浸泡4~6min,漂洗后,再用体积百分比为10%~20%的氢氟酸水溶液浸泡4~6min,然后用去离子水漂洗数次,烘干。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
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