[发明专利]多线锯往返切割方法及其装置无效
| 申请号： | 200810163782.5 | 申请日： | 2008-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN101444934A | 公开（公告）日： | 2009-06-03 |
| 发明（设计）人： | 童立峰 | 申请（专利权）人： | 嘉兴嘉晶电子有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多线锯往返切割方法及其装置，包括采用常规的多线锯切割机，其特征是它主要包括以下步骤：安装含有新切割线的放线轮和收线轮，然后进行第一遍线切割，在完成第一遍线切割后，将放线轮上剩余的最后一层切割线收到收线轮上，然后调整线切割参数、系统参数：放线轮直径D、切割线轮上限高度H和切割线轮下限高度h，修改成收线轮直径D1收线轮上限高度H1收线轮下限高度h1，以及降低切割张力2N/mm2，并重新清零到修改值后反向运行多线锯切割，进行第二遍线切割。本发明将原有只能使用一遍的切割线重复使用第二遍，可增产达到一倍，大大降低了硅片的切割成本，同时，本发明所设计的多线锯往返切割装置，通过可拆卸结构使得放线轮能够方便的安装。 | ||
| 搜索关键词： | 多线锯 往返 切割 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
1. 一种多线锯往返切割方法，包括采用常规的多线锯切割机，其特征是它主要包括以下步骤：安装含有新线的切割线放线轮线轮和切割线收线轮，然后进行第一遍线切割，在完成第一遍线切割后，将切割线放线轮上剩余的最后一层切割线收到切割线收线轮上的，然后调整线切割参数、系统参数：放线轮直径D、切割线轮上限高度H和切割线轮下限高度h，修改成收线轮直径D1收线轮上限高度H1收线轮下限高度h1，以及降低切割张力2N/mm2，并重新清零到修改值后反向运行多线锯切割，进行第二遍线切割。
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