[发明专利]指纹检测装置有效
| 申请号： | 200810165685.X | 申请日： | 2002-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN101482918A | 公开（公告）日： | 2009-07-15 |
| 发明（设计）人： | 冈修一 | 申请（专利权）人： | 索尼公司 |
| 主分类号： | G06K9/00 | 分类号： | G06K9/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及使用电容检测方法的指纹检测装置。本发明的指纹检测装置包括一传感器部分，在传感器部分中形成一绝缘保护膜，以覆盖如阵列般排列的检测电极，且该检测电极和位于该检测电极下的布线由难熔金属或该难熔金属的化合物构成。这种结构提高了检测电极和布线的维氏硬度。这使得有可能提供一种高可靠的指纹检测装置，其中在传感器部分中的绝缘保护膜的开裂裕度得到改善。 | ||
| 搜索关键词： | 指纹 检测 装置 | ||
【主权项】：
1. 一种使用电容检测方法的指纹检测装置，包括一传感器部分，在该传感器部分中形成一绝缘保护膜，以覆盖阵列状排列的检测电极，其特征在于该检测电极和在该检测电极下面的布线由难熔金属或该难熔金属的化合物构成，该难熔金属选择有Ti，Ta，W和Mo构成的组。
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