[发明专利]平面光波线路及其制作方法和光波导装置无效
| 申请号： | 200810165973.5 | 申请日： | 2008-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN101398512A | 公开（公告）日： | 2009-04-01 |
| 发明（设计）人： | 渡边真也 | 申请（专利权）人： | 日本电气株式会社 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12;G02B6/13;G02B6/136 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 宋 鹤;南 霆 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供了平面光波线路及其制作方法和光波导装置，所述平面光波线路能够通过将光学元件与光波导部件没有缝隙地耦合以改进光学耦合效率。该平面光波线路包括光波导部件和光学元件安装部件。光波导部件包括形成在作为衬底的硅衬底的一部分上的下部包层、芯层和上部包层。光学元件安装部件有安装到硅衬底上的LD，其在作为光波导端面的光波导端面光学地耦合。在光波导端面，下部包层的端面相对于芯层的端面和上部包层的端面向远离LD的方向凹陷。 | ||
| 搜索关键词： | 平面 光波 线路 及其 制作方法 波导 装置 | ||
【主权项】：
1. 一种平面光波线路，包括：光波导部件，具有形成在衬底的一部分上的下部包层、芯层和上部包层；和光学元件安装部件，用于在所述衬底上装载光学元件，所述光学元件光学地耦合于所述光波导部件的端面，其中，在所述光波导部件的端面，所述下部包层的端面相对于所述芯层的端面和所述上部包层的端面向远离所述光学元件的方向凹陷。
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