[发明专利]配线基板的制造方法有效
申请号: | 200810166281.2 | 申请日: | 2008-09-25 |
公开(公告)号: | CN101400220A | 公开(公告)日: | 2009-04-01 |
发明(设计)人: | 西村洋子;齐木一;杉本笃彦;樱井干也;井场政宏 | 申请(专利权)人: | 日本特殊陶业株式会社 |
主分类号: | H05K3/46 | 分类号: | H05K3/46;H05K3/38;H05K3/18 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 陆锦华;关兆辉 |
地址: | 日本爱知*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 提供一种配线基板的制造方法,能够实现提高显影工序中的成品率,并且能够切实地形成形状优良的微细配线图案层。在本发明的配线基板K的制造方法中,首先在树脂绝缘层(16、17)的表面形成金属层(20、21)。接着,在金属层(20、21)上粘贴具有耐碱性的感光性干膜材料(22、23)后,进行曝光及基于碱的显影,形成预定图案的抗电镀剂(22a、22b)。接着,进行电镀而在抗电镀剂(22a、22b)的开口部(24、25)形成配线图案层(28、29)。接着,利用有机胺类剥离液来剥离抗电镀剂(22a、22b)。接着,去除位于抗电镀剂(22a、22b)正下方的金属层(20、21)。 | ||
搜索关键词: | 配线基板 制造 方法 | ||
【主权项】:
1. 一种配线基板的制造方法,其特征在于,包括以下工序:在树脂绝缘层(16、17、30、31)的表面形成金属层(20、21);在所述金属层(20、21)上粘贴具有耐碱性的感光性干膜材料(22、23)后,进行曝光及基于碱的显影,形成预定图案的抗电镀剂(22a、22b、23a、23b);进行电镀而在所述抗电镀剂(22a、22b、23a、23b)的开口部(24、24a、25、25b)形成配线图案层(28、28a、29、29a);利用有机胺类剥离液来剥离所述抗电镀剂(22a、22b、23a、23b);和去除位于所述抗电镀剂(22a、22b、23a、23b)正下方的所述金属层(20、21)。
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