[发明专利]三维形状测量方法有效
申请号: | 200810166508.3 | 申请日: | 2008-10-08 |
公开(公告)号: | CN101408412A | 公开(公告)日: | 2009-04-15 |
发明(设计)人: | 八田健一郎;堤英贵 | 申请(专利权)人: | 松下电器产业株式会社 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 张 鑫 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供即便被测体为非球面形状也能高精度取得测量数据的三维形状测量方法。此三维形状测量方法使在往相互正交的X轴方向和Y轴方向驱动的移动体上支撑成往Z轴方向移动自如的探头在被测体的测量面沿规定的路径扫描,以测量被测体的形状。将以从往被测体的已得形状信息得到的扫描上各位置的被测体的测量面法线方向拉长的直线与被测体的中心线的交点为中心,并且在被测体表面上的位置与被测体的表面形状接合的圆作为近似圆,根据该近似圆的半径算出取得被测体的测量数据的取样间距。由此,能按沿被测体的表面形状的恒定间距取入测量数据。 | ||
搜索关键词: | 三维 形状 测量方法 | ||
【主权项】:
1、一种三维形状测量方法,其特征在于,使在往相互正交的X轴方向和Y轴方向驱动的移动体(1)上支撑成往Z轴方向移动自如的探头(5)在被测体(2)的测量面(2a)沿规定的路径扫描,以测量被测体(2)的形状,将以从往被测体(2)的已得形状信息得到的扫描上各位置的被测体(2)的测量面(2a)法线方向拉长的直线与被测体(2)的中心线的交点为中心,并且在被测体(2)的表面上的位置与被测体的表面形状接合的圆作为近似圆,根据该近似圆的半径算出取得被测体(2)的测量数据的取样间距。
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