[发明专利]离子束导管有效
| 申请号： | 200810167498.5 | 申请日： | 2008-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN101504906A | 公开（公告）日： | 2009-08-12 |
| 发明（设计）人： | 杰弗里·赖丁;格雷戈里·罗伯特·奥尔科特;李·斯普拉根;罗伯特·米切尔;马丁·希尔金;马修·卡斯尔;马文·法利 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/02 | 分类号： | H01J37/02;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种离子束导管。还提供具有这种离子束导管的离子注入器。该导管在该注入器中位于与待注入晶片相邻的位置，以在注入期间限制用于晶片中和的带电粒子，该导管包括一个或多个壁，所述一个或多个壁限定了穿过该导管以允许离子束通过的中心钻孔，其中所述一个或多个壁被构成为使得该中心钻孔逐渐变细。有利地，由于导管具有向外逐渐变细的中心钻孔，由此缓解了当离子束通过导管时射束撞击的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 离子束 导管 | ||
【主权项】：
1. 一种用于离子注入器中的离子束导管，该导管在该注入器中位于与待注入晶片相邻的位置，以在注入期间限制用于晶片中和的带电粒子，该导管包括一个或多个壁，所述一个或多个壁限定了穿过该导管以允许离子束通过的中心钻孔，其中所述一个或多个壁被构成为使得该中心钻孔逐渐变细。
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