[发明专利]薄膜晶体管阵列基板及其制造方法

摘要

一种薄膜晶体管阵列基板的制造方法，其是在每一次的图案化制程中，同时定义膜层以形成多个切裂标记。这些切裂标记为沿垂直预切裂方向紧密地排列成行，且这些切裂标记形成于一预切裂位置的两侧。藉由以这些切裂标记作为刻度记号，可显示出实际切裂位置与预切裂位置的偏移程度，进而可进一步对切裂制程做精确地调整，以提高制程良率。

主权项

一种薄膜晶体管阵列基板，其特征在于，包括：一基板，该基板具有一组件区与一切裂标记区；多数个像素结构，配置于该组件区中，每一像素结构包括一薄膜晶体管、一像素电极以及覆盖该薄膜晶体管的一保护层；以及多数个切裂标记，配置于该切裂标记区中，该些切裂标记为沿垂直预切裂方向紧密地排列成行，且该些切裂标记位于一预切裂位置的两侧，其中该些切裂标记是由至少两种以上的颜色、至少两种以上的形状、至少一种颜色与至少一种形状搭配组合或是上述两者搭配组合而成。