[发明专利]利用引入射流柱中的激光束的激光加工装置

摘要

一种利用引入射流柱中的激光束的激光加工装置，包括用于把射流喷射到工件的管嘴和用于向所述管嘴供给射流的流体供给装置，其中激光束被引入从管嘴喷射出的射流柱中。所述激光加工装置进一步包括用于在层流状态下向管嘴供给射流的层流形成通道。层流形成通道包括由空腔形成的用于围绕管嘴的轴线环形分配射流的分配通道，射流从流体供给装置供给，还包括在管嘴的轴向中其下游侧处与分配通道相连通设置的互联通道，互联通道由围绕管嘴的轴线的环形空腔形成以提供比分配通道更窄的流动通道，以及邻近管嘴的轴向中的管嘴的上游设置的流体贮存腔，所述流体贮存腔储存将供给到管嘴的射流。流体贮存腔具有在其环形的整个圆周上与互联通道相连通的外周边。

主权项

1、一种激光加工装置，包括用于产生激光束的激光振荡器，用于把射流喷射到工件的管嘴，以及用于向所述管嘴供给所述射流的流体供给装置，所述激光束被引入从所述管嘴喷射出的射流柱中，所述激光加工装置进一步包括：用于在层流状态下向所述管嘴供给所述射流的层流形成通道，所述层流形成通道包括：由空腔形成的用于围绕所述管嘴的轴线环形分配所述射流的分配通道，所述射流从所述流体供给装置供给；在所述管嘴的轴向中其下游侧处与所述分配通道相连通设置的互联通道，所述互联通道由围绕所述管嘴的轴线的环形空腔形成以提供比分配通道更窄的流动通道；以及邻近所述管嘴的轴向中的管嘴的上游设置的流体贮存腔，所述流体贮存腔储存将供给到管嘴的射流，所述流体贮存腔具有在所述互联通道的环形形状的整个圆周上与所述互联通道相连通的外周边。