[发明专利]准分子灯有效
| 申请号： | 200810170149.9 | 申请日： | 2008-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN101409203A | 公开（公告）日： | 2009-04-15 |
| 发明（设计）人： | 松泽聪司;藤泽繁树;森本幸裕 | 申请（专利权）人： | 优志旺电机株式会社 |
| 主分类号： | H01J61/36 | 分类号： | H01J61/36;F21V7/22 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 谢丽娜;关兆辉 |
| 地址： | 日本国东京*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能得到可有效率地反射真空紫外光的紫外线反射膜而可有效率地出射真空紫外光、而且可确实地防止紫外线反射膜剥落的准分子灯。本发明的准分子灯，包括具有放电空间的由二氧化硅玻璃构成的放电容器，在夹着形成该放电容器的二氧化硅玻璃的状态下设有一对电极，并且在放电空间内封入有氙气体，其中，在放电容器的曝露于放电空间中的表面上，形成通过由二氧化硅粒子和氧化铝粒子形成的紫外线散射粒子构成的紫外线反射膜，该紫外线反射膜的膜厚Y(μm)，在将构成紫外线反射膜的紫外线散射粒子的中心粒径设为X(μm)时，满足Y＞4X+5的关系。优选紫外线反射膜中二氧化硅粒子的含有比率为30wt％以上。 | ||
| 搜索关键词： | 分子 | ||
【主权项】：
1.一种准分子灯，包括具有放电空间的由二氧化硅玻璃构成的放电容器，在夹着形成该放电容器的二氧化硅玻璃的状态下设有一对电极，并且在放电空间内封入有氙气体，其特征在于，在上述放电容器的曝露于放电空间中的表面上，形成通过由二氧化硅粒子和氧化铝粒子形成的紫外线散射粒子构成的紫外线反射膜，该紫外线反射膜的膜厚Y(μm)，在将构成紫外线反射膜的紫外线散射粒子的中心粒径设为X(μm)时，满足Y＞4X+5的关系。
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