[发明专利]具有改进的边缘清晰度的用于分配粘性流体的流体分配器及方法

摘要

具有改进的边缘清晰度的用于分配粘性流体的流体分配器及方法。当分配头通过多轴台相对于静止的基片移动时，加压流体以脉冲的形式周期性地供给到分配头的喷嘴板内的喷嘴。小滴从喷嘴排出且冲击在基片上。小滴合并在一起以限定涂层。来自一个或多个喷嘴组的排出能够临时地悬挂以避免当邻近的区域继续接收流体小滴时涂敷在基片上的部件或区域。

主权项

1. 一种用于将加压流体施加到静止的基片上的装置，所述装置包括：至少一个流体分配器，包括：执行器、包含加压流体的流体室、与所述执行器连接的阀元件、流体通路、在所述流体室和所述流体通路之间的阀座，所述执行器构造为将所述阀元件相对于所述阀座在打开位置和关闭位置之间移动，在该打开位置时允许加压流体从所述流体室流入到所述流体通路内，且在该关闭位置时所述阀元件接触所述阀座以在所述流体室和所述流体通路之间建立流体密封；与所述至少一个流体分配器机械地连接的多轴台，所述多轴台构造为将所述至少一个流体分配器相对于静止的基片移动；和与所述多个流体分配器的相应的一个机械地连接的至少一个喷嘴板，所述至少一个喷嘴板包括与所述流体通路连接的流体腔，和与所述流体室连接的多个喷嘴，所述流体腔构造为当所述至少一个流体分配器的所述阀元件处于打开位置时从所述至少一个流体分配器接收加压流体，以用于从所述多个喷嘴排出。