[发明专利]晶片有效
申请号: | 200810171487.4 | 申请日: | 2008-09-04 |
公开(公告)号: | CN101383339A | 公开(公告)日: | 2009-03-11 |
发明(设计)人: | 关家一马 | 申请(专利权)人: | 株式会社迪思科 |
主分类号: | H01L23/544 | 分类号: | H01L23/544 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 徐冰冰;黄剑锋 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明是一种具有在圆形的晶片衬底的表面上形成多个器件的器件区域和围绕该器件区域的外周剩余区域的晶片,在晶片衬底的外周剩余区域的外周端部,从表面到背面形成了截面形状形成圆弧面的倒角部,在倒角部上形成垂直于表面和背面的平坦面,作为示出晶片衬底的结晶方位的标记,在平坦面上打印上用于特定晶片衬底的识别代码。 | ||
搜索关键词: | 晶片 | ||
【主权项】:
1、一种晶片,具有在圆形的晶片衬底的表面上形成多个器件的器件区域和围绕该器件区域的外周剩余区域,其特征在于,在晶片衬底的该外周剩余区域的外周端部,从表面到背面形成有截面形状为圆弧面的倒角部,在该倒角部上形成垂直于表面和背面的平坦面,作为示出晶片衬底的结晶方位的标记,在该平坦面上打印用于特定晶片衬底的识别代码。
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