[发明专利]穿隧电阻量测系统及其量测装置结构

摘要

本发明是有关于一种穿隧电阻量测系统及其量测装置结构。该穿隧电阻量测系统系包括：控制装置；量测装置；电源供应模块；以及电压/电流量测模块，该量测装置包括：座体；第一夹具；第二夹具；升降控制单元；以及压力感测单元。第一及第二夹具是设置于座体上，并藉由升降控制单元改变第一夹具的位置，进而施加压力于第一及第二夹具间的待测物，而压力感测单元则用以量测待测物所承受的压力。该电源供应模块是提供电流至待测物，并利用电压/电流量测模块量测流经待测物的电流及其电压，进而藉由控制装置计算待测物在不同条件下的穿隧电阻。

主权项

一种穿隧电阻量测系统，其特征在于包括：一控制装置；一量测装置，其包括：一座体，其具有一第一板体、一第二板体及至少三支撑杆，其中所述支撑杆是连接支撑该第一板体及该第二板体；一第一夹具，其具有：一第一升降板，其是滑动结合于所述支撑杆；一第一绝缘板，其是设置于该第一升降板上；及一第一导电板，其是设置于该第一绝缘板上；一第二夹具，其具有：一第二升降板，其是滑动结合于所述支撑杆；一第二绝缘板，其是设置于该第二升降板上；及一第二导电板，其是设置于该第二绝缘板上，并与该第一导电板相对应设置；一升降控制单元，其是电讯连接于该控制装置，并连接于该第一夹具以控制该第一夹具的位置；及一压力感测单元，其是电讯连接于该控制装置，并设置于该第二板体及该第二夹具之间；一电源供应模块，其是电讯连接于该控制装置，且电性连接于该第一导电板及该第二导电板；以及一电压/电流量测模块，其是电讯连接于该控制装置，且电性连接于该第一导电板及该第二导电板。