[发明专利]硅提纯方法及装置无效
| 申请号： | 200810171978.9 | 申请日： | 2008-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN101723377A | 公开（公告）日： | 2010-06-09 |
| 发明（设计）人： | 刘铁林 | 申请（专利权）人： | 刘铁林 |
| 主分类号： | C01B33/037 | 分类号： | C01B33/037 |
| 代理公司： | 北京万慧达知识产权代理有限公司 11111 | 代理人： | 葛强;张一军 |
| 地址： | 100094 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种硅提纯方法及装置，其中该方法包括以下步骤：向一装有硅粉的反应腔输入除杂气体，并对反应腔进行抽真空，使该反应腔内的压力保持在使除杂气体可形成等离子体的范围内；向所述反应腔输入能量，使除杂气体离化形成等离子体；以及取出硅粉。相对于传统的硅提纯方法，该方法具有功耗低、污染少的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 提纯 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种硅提纯方法，包括以下步骤：向一装有硅粉的反应腔输入除杂气体，并对该反应腔进行抽真空，使该反应腔内的压力保持在使除杂气体可形成等离子体的范围内；向所述反应腔输入能量，使除杂气体离化形成等离子体；以及取出硅粉。
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