[发明专利]发光装置和制造该发光装置的方法及操作制造设备的方法

摘要

本发明涉及发光装置和制造该发光装置的方法及操作制造设备的方法。由于TFT布置在有源矩阵发光装置中EL层的下面，发明人已经预计到采用电子枪淀积作为形成EL层上的金属层的方法是没有问题的。然而，由于TFT对电子枪产生的离化的蒸汽颗粒、二次电子、反射的电子等非常敏感，虽然在EL层中几乎没有观察到破坏，但是当采用电子枪淀积时在TFT上发现了严重的破坏。本发明提供了具有优越TFT性能(开电流、关电流、Vth、S值等)的有源矩阵发光装置，其中有机化合物层和金属层(阴极或阳极)通过电阻加热形成，对TFT有最小的影响。

主权项

1.一种制造发光装置的方法，包括：在衬底之上形成薄膜晶体管；形成具有阴极、阳极、及在阴极和阳极之间的有机化合物层的发光元件，所述发光元件连接到薄膜晶体管，其中所述有机化合物层由蒸汽淀积形成，其中淀积材料通过电阻加热被加热，阴极的下层由蒸汽沉积形成，其中由金属材料形成的沉积材料通过电阻加热被加热，阴极的上层由蒸汽淀积形成，其中由相同的金属材料形成的淀积材料用电子枪加热。