[发明专利]由剥离液废液再生剥离液的方法和再生装置有效
| 申请号： | 200810174929.0 | 申请日： | 2008-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN101424889A | 公开（公告）日： | 2009-05-06 |
| 发明（设计）人： | 竹山友洁;河野雅史;小田昭昌;水谷荣一;川濑泰人 | 申请（专利权）人： | 日本瑞环化工株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;B01D3/00;B01D5/00 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 段承恩;田 欣 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种从剥离液废液中再生剥离液的方法和再生装置。所述再生方法，是从由液晶显示板的制造工序产生的抗蚀剂剥离液废液中分离除去其所含有的正型光致抗蚀剂从而再生剥离液的方法，其中，将相对于所述剥离液废液中所含有的光致抗蚀剂的质量为0.01～0.2倍质量的碱性化合物添加到该剥离液废液中。所述再生装置，是从由液晶显示板的制造工序产生的抗蚀剂剥离液废液中分离除去其所含有的正型光致抗蚀剂从而再生剥离液的装置，该再生装置具备从所述剥离液废液中分离除去其中的低沸点成分的低沸点物除去塔；从该剥离液废液中分离除去其中的高沸点成分的薄膜式蒸发器；以及，从残余的液体中分离回收精制剥离液的剥离液精制塔，并且，具备所述剥离液废液在该低沸点物除去塔、该薄膜式蒸发器和该剥离液精制塔之间流通，并作为精制剥离液被回收的配管系统，在所述薄膜式蒸发器和/或其上游侧的配管系统中，具备将碱性化合物添加到该剥离液废液中的碱添加装置。 | ||
| 搜索关键词： | 剥离 废液 再生 方法 装置 | ||
【主权项】：
1. 一种剥离液的再生方法，是从由液晶显示板的制造工序产生的抗蚀剂剥离液废液中分离除去其所含有的正型光致抗蚀剂从而再生剥离液的方法，其特征在于，将相对于所述剥离液废液中所含有的光致抗蚀剂的质量为0.01～0.2倍质量的碱性化合物添加到该剥离液废液中。
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