[发明专利]原位室清洁方法无效
| 申请号： | 200810175538.0 | 申请日： | 2008-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN101428284A | 公开（公告）日： | 2009-05-13 |
| 发明（设计）人： | 小尻英博 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 在具有包括多个孔的气体分配部件的室中实施原位室清洁方法。清洁气流通过一些孔提供到室中，同时没有清洁气流通过剩余的孔提供。清洁气流被离子化，以使离子化的清洁气体基团被用来对室进行清洁。 | ||
| 搜索关键词： | 原位 清洁 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种原位室清洁方法，包括在具有包括多个孔的气体分配部件的室中，通过这些孔中的一些孔提供清洁气流到所述室中，同时没有清洁气体通过剩余的孔被提供；和离子化所述清洁气流，以便采用离子化的清洁气体基团对所述室进行清洁。
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