[发明专利]用于干涉测量微型光栅编码读取头的参考信号产生结构

摘要

一种用于测量位移的光纤读取头和标度配置，提供了参考位置指示。该标度包括标度轨迹，该标度轨迹包括提供第一级零阶反射例如光栅的第一型轨迹部分和提供第二级零阶反射例如反射镜的参考标记。参考标记构造为具有基于读取头内的某些光纤参考信号接收器通道开口尺寸来确定的某些长度或边界间隔尺寸。在一些结构中提供参考位置指示的光纤读取头和轨迹与提供周期性增量测量信号的光纤读取头和轨迹是分离的。在一些结构中积分光纤读取头和积分标度轨迹结构提供了参考位置指示和周期性增量测量信号。

主权项

1. 一种光纤读取头和标度配置，用于测量沿着测量轴方向的两构件之间的相对移位和用于提供参考位置指示，该光纤读取头和标度配置包括:至少第一光纤读取头，该第一光纤读取头包括输出第一发散光源光的光源，和可运作以提供各自的参考标记信号的至少第一和第二光纤光参考标记信号接收器通道；和标度构件，其包括沿着测量轴方向的至少第一标度轨迹，该第一标度轨迹包括:第一型轨迹部分，当由发散的光源光照射时其提供第一数量的零阶反射率；和至少一个参考标记部分，定位于该第一型轨迹部分内，当由该发散的光源光照射时该至少一个参考标记部分提供不同于第一数量零阶反射率的第二数量零阶反射率，其特征在于:该第一光纤参考标记信号接收器通道包含第一参考标记信号接收器通道光纤和第一参考标记信号接收器通道开口，该第二光纤参考标记信号接收器通道包含第二参考标记信号接收器通道光纤和第二参考标记信号接收器通道开口，当该第一光纤读取头可运作地相对于第一标度轨迹定位时，彼此最靠近的该第一和第二参考标记信号接收器通道开口的边界沿着该测量轴方向被尺寸AR12SEP所分离，彼此最远离的该第一和第二参考标记信号接收器通道开口的边界沿着该测量轴方向跨越总开口跨度尺寸AR12SPAN；该至少一个参考标记部分构造为以使两参考标记部分边界沿着该测量轴方向由边缘到边缘尺寸LETOE来分离；该至少一个参考标记部分和第一和第二光纤参考标记信号接收器通道构造为以使AR12SEP<(2*LETOE)

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