[发明专利]自适应调焦调平传感器系统自我判断测量数据可信度的方法

摘要

本发明公开了一种自适应调焦调平传感器系统及应用方法，其特征在于光斑掩模还具有形成位于曝光狭缝之外的预测光斑的通光孔，利用所成的曝光狭缝外的预测光斑使本发明的自适应调焦调平系统实现对工艺的自适应，对其本身测量点测量数据的可信度进行自我判断，对光强或增益环节进行反馈控制。本发明的有益效果是大大提高了调焦调平系统的可用性及生产效率和成品率，减少了工艺实验的工作量，节约了使用成本，提高了调焦调平的测量性能和工件台的工作性能，并最终也提高了整个光刻机的工作性能，降低了其使用成本和使用难度。

主权项

1.一种自适应调焦调平传感器系统自我判断测量数据可信度的方法，其特征在于包括以下步骤：(1)通过工艺试验确定出针对不同类型的测量对象测量光斑有效时其从探测器输出的对应于光强的信号阈值Am1，将此值写入调焦调平的主控制系统；(2)调焦调平系统根据得到的测量对象的类型确定其所对应的阈值Am1；(3)测量预测光斑到达测量对象位置Xi处时光强探测器的输出值，判断其是否大于或等于阈值Am1，若是，则在此位置测量得到的信息为不可信信息，若否，则在此位置测量得到的信息为可信信息；或根据探测到的实时光强对应的电流信号与阈值Am1之间的差别大小来确定出该测量点的测量可信度值，这个值在完全可信100％到完全不可信0％区间内变化。(4)当测量光斑到达位置Xi时根据预测光斑先前所得的此位置的测量数据的可信性判断测量光斑在此位置测量数据的可信性，同时预测光斑并行在位置Xi+1处重复步骤(3)判断位置Xi+1处测量信息的可信性。