[发明专利]生产电极组件的涂覆设备和方法

摘要

本发明提供一种生产电极组件的涂覆设备和方法。用于PECVD涂覆设备的电极组件(12)包括基体板(13)、分离板(14)和电极板(15)。电极板(15)包括框架构件(16)。固定元件(17)设置用于将电极板(15)固定到基体板(13)。此外，电极组件(12)包括分配处理气体以在衬底(19)的表面的上方提供均质的等离子体P的多个气体分配元件(2)。以此方式，一致的涂层能沉积在衬底(19)上。气体分配元件(2)是具有类似或者相同构造的模块。因而，它们可以在结合在根据本发明的电极组件之前在特定的机器中制造并容易地操作。气体分配系统(1)的另一优点是由于元件2的组成，根据本发明的电极组件的构造比传统的电极组件更稳定。

主权项

1.一种涂覆设备，尤其是一种PECVD涂覆设备，包括：至少处理室，其用于在所述处理室中处理衬底(19)；以及至少电极组件(12)，其布置在所述处理室内，用于在所述处理室中产生和维持等离子体，其中，所述电极组件(12)包括用于将处理气体供应到所述处理室中的出口(7)的布置，其特征在于，所述电极组件(12)包括多个气体分配元件(2a、2b、2c、2d、2e、2f、2g、2h)，其中每个所述气体分配元件(2a、2b、2c、2d、2e、2f、2g、2h)包括气体分配系统，并且所述气体分配元件(2a、2b、2c、2d、2e、2f、2g、2h)形成为平板和/或盒和/或瓦片形元件。